仪器型号：crossbeam 540

产地厂家：德国zeiss

购置时间：

主要功能和技术指标：
           主要功能：        1、利用电子束对微纳样品进行高分辨实时观察，分辨率：≤0.9 nm@15kV; 0.7nm@30KV（STEM模式）；
      2、离子束对样品实现微米至纳米量级的精密加工，同时实现样品观察与加工，分辨率：≤3.0nm@30kV；
      3、后续与MBE，E-Beam实现真空互联，实现微纳样品制备表征操控一体化，避免样品污染，保证样品的高质量。        主要用于对样品进行精细加工，通过表面修饰，加工纳米结构，沉积金属，制备电极等
         

Zeiss聚焦离子束刻蚀图片

仪器地址：物理楼西B208

仪器联系人：杨宏，电话：62765733，邮箱：hongyang@pku.edu.cn