仪器型号：DE500C

产地厂家：DE technology

购置时间：

主要功能和技术指标：
          极限真空≤5E-8Torr；6英寸膜厚均匀性： 优于+/-3%；加热温度700℃，控制精度：+/-1度。
         

电子束蒸发镀膜系统

仪器地址：物理楼西B208

仪器联系人：褚赛赛，电话：62760052，邮箱：chusaisai@pku.edu.cn