报告题目

极端非线性光学和极紫外激光器及其应用

报 告 人

张晓世研究员 中科院空天信息创新研究院

报告地点

物理楼中楼215

报告时间

2021年7月6日（周二）上午10:30

联 系 人

刘运全(62768852)

报告摘要

  位于极紫外或软X射线波段的电磁波拥有超短的波长和大量元素的吸收边，是研究材料科学和纳米科学必不可少的工具。近来，随着极紫外光刻技术敲开了5nm制程的手机芯片的大门，极紫外光的应用也正式地“走入”了千家万户。然而至今，有效获得极紫外或软X射线光源仍是困扰科学家们的重要难题。虽然同步辐射加速器和自由电子激光器等大型极紫外或软X射线可解燃眉之急，但是，高能耗、高造价和大体积大大地限制了其应用。另辟蹊径，经过35年磨练的基于极端非线性光学的高次谐波技术已经成为了一种小体积，低造价，低功耗，且拥有较高功率和高稳定度的极紫外或软X射线激光光源，已经在材料科学和半导体芯片领域初露锋芒。本报告将从极紫外激光技术的难点出发，讨论高次谐波极紫外激光技术的原理及其优越性，最后介绍其在纳米成像技术，半导体检测以及量子计算机芯片研发中的重要应用。

报告人简介

张晓世 博士 现任中科院空天信息创新研究院 研究员，中国科学院大学首席教授，国家高层次人才。此前，于1998年毕业于中国科学技术大学物理系，2007年毕业于美国科罗拉多大学博尔德分校，并于2007年加入美国的国际知名飞秒激光高科技KMLabs公司，曾先后担任激光科学家，飞秒激光放大器产品经理，极紫外激光器产品经理和首席科学家等要职。其间，曾以项目负责人的身份获得多项美国能源局基金和美国国家自然科学基金，代理团队成功商业化世界上第一台极紫外飞秒激光器。该产品于2016年，在美国西部光电展入选Prism Award最终角逐名单。此外，还曾带领团队开发至今仍保持世界纪录的高能量高重频钛蓝宝石飞秒激光器。该产品于2013年，在美国CLEO大型科研仪器展会斩获创新一等奖（Laser Focus World Innovation award）。在科研方面，从事飞秒激光，极紫外激光，极端非线性光学以及相干衍射成像等领域的研究及相关技术的商业化和应用已逾20年。曾在PRL, Nature Physics，Nature Photonics，Optica等国际知名期刊发表论文共50余篇，被SCI引用逾5,000次，在国际国内重要的学术会议上做邀请报告20多次。曾担任Optics Letters的co-editor，SPIE Advanced Lithography分会委员会委员，以及SPIE Photonics Asia委员会委员。